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압력센서 가스용 GTP SERIES

반도체 제조에 필요한 가스의 압력을 측정하는 정밀 압력센스로서,
가스공급장치 및 반도체 생산장비의 가스라인에 가스압력을 측정하는 압력센서입니다.


일반사양
 압력범위 : 100, 200, 500, 3000 PSI 등의 귀사 지정압력
 정확도 : ±0.3% F.S 
 히스테리시스 : ±0.3% F.S 
 반복성 : ±0.3% F.S 
 전원 : 24V DC 
 출력형태 : 4~20mA
 소비전류 : Max 25mA
 온도보상범위 : 0~50°C
 허용온도보상범위 : 0~80°C 
 온도 Drift : ±0.05% / °C
 허용과부화 : 200% F.S
 재질 : Double melt VIM+VAR, Hastelloy
 내부표면 : EP처리 Ra 0.25㎛
 Cable : Ф5.5, 3m, 4P Shield
 용접 : Electron Beam Welding
 보증기간 : 1년
 외부노이즈안정(RS/CS)
 복사전자파내성 : 주파수범위 80~1000MHz
 복사전자파세기 : 10V/m
 변조방식 : AM 80%, 1kHz
 전자파전도내성 : 주파수범위 0.15~80MHz 
 인가전압 : 10V
 변조방식 : AM 80%, 1kHz  

특징
 압력 감지부는 Hastelloy을 사용한 부식방지 구조
 센서모듈은 초정밀 전자빔용접에 의한 밀폐구조로 센서정밀도가 우수
 전자회로에 의한 출력이 일정하여 센서의 호환성이 있으므로 보수가 용이
 부암측정, 절대압 측정가능
 외부 노이즈 대책에 우수
 일본 Tem-tech사와 기술제휴에 의한 국내생산 실현 

형식
 GTP①②V-③④⑤
  ① S- Single ended
     T- Flow Through 
  ② M: Fixed Male
     N: Swivel Male
     F: Female Nut
  ③ 420: 4~20mA
  ④ C: Circular connector
     T: Tajimi connector
     None: Pigtail
  ⑤ 1: 1/4"
     3: 1/2"